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艾司摩爾與imec簽署策略夥伴協議 支援歐洲半導體研究與創新

ASML執行長Christophe Fouquet(右)與imec執行長Luc Van den hov簽署策略夥伴協議, 支援歐洲半導體研究與永續 創新。圖/imec提供
ASML執行長Christophe Fouquet(右)與imec執行長Luc Van den hov簽署策略夥伴協議, 支援歐洲半導體研究與永續 創新。圖/imec提供

艾司摩爾(ASML)與比利時微電子研究中心(imec)宣布,雙方已經簽署一項新的策略夥伴協議,聚焦研究與永續發展。

該協議年限五年,目標是透過集結ASML和imec各自的知識和專業,在兩大領域提供有價值的解決方案。首先,開發推進半導體產業的解決方案;其次,開發聚焦永續創新的研究倡議。

這項合作結合ASML完整的產品組合,尤其是開發高階技術節點,採用包含0.55 NA和0.33NA 極紫外光(EUV)、浸潤式深紫外光(DUV)、YieldStar光學量測設備以及HMI單光束與多光束檢測技術。這些工具未來將安裝在imec最先進的試驗製程,並整合到由歐盟及法蘭德斯政府資助的奈米晶片試驗製程,為全球半導體生態系提供用來研發2奈米以下技術的頂尖基礎設備。研發的焦點領域將會包含矽光子、記憶體與先進封裝,在多元化市場為未來基於半導體的人工智慧(AI)應用提供完整的堆疊創新。

此次合作的新領域包含為imec研究流程中的創新發想與活動挹注可觀資助,這些創新帶來環境與社會效益。

ASML在這項合作的投資還有由晶片聯合承諾(Chips Joint Undertaking)和法蘭德斯政府(為了實現歐盟《歐洲晶片法案》奈米晶片試驗製程)以及荷蘭政府(作為一項歐洲共同利益重要項目,簡稱IPCEI)所提供的經費補助。

奈米晶片試驗製程的採購及營運由晶片聯合承諾(Chips Joint Undertaking)經由歐盟數位歐洲計畫(Digital Europe)和歐洲展望計畫(Horizon Europe),以及比利時(法蘭德斯)、法國、德國、芬蘭、愛爾蘭和羅馬尼亞這些成員國共同資助。

奈米 晶片

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